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HF無油分子泵機組

概述

用途
HF無油分子泵機組是由各性能分子泵、無油泵、通斷放氣閥、前級管路、斷水保護器、分子泵電源、控制電源等組裝而成的清潔超高真空獲得設備。安裝方便，操作簡單，易于連接，性能可靠。可廣泛應用于表面分析、加速器技術、半導體設備，等離子技術、電真空器件的制造及真空技術各領域。

應用領域
分析儀器；氣相分析；電子顯微鏡；檢漏儀等。

工作應用
 顯像管領域；光盤制造；鍍膜行業；電子束焊接設備；ITO生產線；OLED生產線、幕墻玻璃生產線；離子刻蝕；半導體制造工業；真空爐；真空輸送；照明燈生產工業；食品包裝；電真空工業等。

科研領域
高能物理、表面物理、科研儀器、空間研究等真空技術領域。

主要性能參數

型號參數 HFP100/110 HFP160/620 HFP200/1200
高真空法蘭 DN100LF DN100CF DN160LF DN150CF DN200LF DN200CF
抽氣速率(L/S) 110 450 1200
壓縮比(N2) <10 <10 <10
壓縮比(H2) 5*10 10 6*10
極限壓強(Pa) 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5
輸入電壓頻率(V/HZ) 380±20/50±1 380±20/50±1 380±20/50±1
冷卻水壓力(Kg.cm) 0.5-1 0.5-1 0.5-1
前級泵型號 HF-8 HF-15 HF-30
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